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  高純氣體輸送管路系統(tǒng)的質(zhì)量好壞，將會(huì)直接影響到高純氣體的純度、潔凈度?、干燥度。因此，對(duì)于高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、選材、加工制造、潔凈處理及安裝使用過(guò)程中的各環(huán)節(jié)嚴(yán)格控制都有十分重要的意義。

1 材料表面處理?

    未經(jīng)處理的材料表面會(huì)粘附有氧化皮，油污、灰塵、金屬碎屑等雜質(zhì)。如果將不經(jīng)處理或處理得不徹底的材料用于高純氣體管路系統(tǒng)，氣流的沖刷、溫度及壓力等因素的變化，對(duì)材料表面出氣會(huì)造成影響，會(huì)不可避免地造成氣體質(zhì)量下降和潔凈管道污染，甚至引起部件損壞與報(bào)廢。眾所同知．金屬材料的表面與氣體分子存在著吸附與解吸現(xiàn)象，當(dāng)氣體的壓力、溫度等條件一定時(shí)，吸附與解吸只與材料實(shí)際表面大小及處理情況(拋光、清洗等)有關(guān)。因此，對(duì)高純氣體輸送裝置的表面進(jìn)行處理主要有兩個(gè)目的，即清除材料表面的有害雜質(zhì)和獲得高質(zhì)量的表面光潔度。清洗工作的一般順序?yàn)闄C(jī)城清洗、酸洗、去垢清洗和去油脫脂。國(guó)外多采用在密閉的塑料容器中加入三氯乙烯，用超聲波清洗的方法對(duì)管閥件成品進(jìn)行最終清洗，以保證電子級(jí)高純氣體管閥件的特殊潔凈要求。?

2 材料的選擇

       實(shí)踐證明，高純氣體輸送管路采用不銹鋼材料較為理想，不銹鋼對(duì)雜質(zhì)及水份的活性較其它材料弱，耐腐蝕及機(jī)械工藝性、綜合經(jīng)濟(jì)性都較好。對(duì)于抽真空的系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，不銹鋼的出氣率也較低，僅為銅材的十分之一，為橡膠樹脂的千分之一。要特別注意的是，由于所有氣體對(duì)有機(jī)聚合物都有較高的滲透率，因此，在高純氣體的管路中絕對(duì)不允許使用非金屬管線、密封墊片，以及非金屬隔膜的減壓閥、膜片閥等。否則，系統(tǒng)內(nèi)外氣體的相互滲透將會(huì)降低氣體的質(zhì)量。在實(shí)際應(yīng)用中，材料的選擇必須考慮使用介質(zhì)的性質(zhì)及使用條件(溫度、壓力、環(huán)境)。并且，不銹鋼材料也不適用于任何濃度的鹽酸。管材必須選用無(wú)縫管材。管子的內(nèi)外表面質(zhì)量、外徑公差及圓度要符合設(shè)計(jì)要求。表面擦傷及任何一種即使不太明顯的內(nèi)外表面缺陷都是應(yīng)力源，都會(huì)引起腐蝕的不均勻性，從而降低了在交變載荷和活性介質(zhì)作用條件下管道的耐腐蝕—— 疲勞破壞能力。在旋工和運(yùn)輸中，不能把管子在地面及硬的物體上拖拉，以免劃傷管子表面。管子外徑及壁厚的選擇除了考慮系統(tǒng)的壓力、流量外，還要注意采用卡套連接的管子壁厚要合適。管壁太簿，卡環(huán)將會(huì)壓壞管子；管壁太厚，卡環(huán)就不能使管子恰當(dāng)變形，同樣起不到密封作用。

3．必須注意不要使管子在受力狀態(tài)下

這種結(jié)構(gòu)無(wú)論采用什么連接方式，都很難保證管子兩端的密封面同時(shí)部完全接觸，而且溫度變化時(shí)，將會(huì)使密封表面移動(dòng)改變。

4．彎管必須冷加工

并且要使用臺(tái)適的機(jī)械，不準(zhǔn)重復(fù)彎管。彎管處有壓扁、彎折、起皺現(xiàn)象的管子不能使用。

5．管子鋸開或切開

要保證管子切口與管壁垂直，最好使用專用工具清除管子切口內(nèi)外的毛刺。特別注意不要讓碎屑進(jìn)入管內(nèi)，并要用潔凈的空氣或氨氣吹除。因?yàn)樾?shí)踐表明，管道內(nèi)的金屬碎屑，多是此時(shí)殘留下來(lái)的，對(duì)小13徑管( 3ram 以下)不可用鋸鋸斷，可用三角或尖銼繞管外徑統(tǒng)一．圈溝槽，然后斷開，避免毛刺堵塞內(nèi)孔。

6．在安裝閥門時(shí)要注意閥體上的流向

標(biāo)志安裝應(yīng)使得當(dāng)工作系統(tǒng)有壓力時(shí)，總是把壓力端接到閥頭下面的空腔，而不是接到閥頭上面的填料或膜片處。當(dāng)閥門處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，這種連接方式可保證工作系統(tǒng)發(fā)生外瓣的機(jī)會(huì)最少。閥門要安裝在顯眼和容易操作的位置，不要讓操作者的手通過(guò)很冷或根熱的物體去操作閥門。閥門不能以手輪垂直向下的位置倒置安裝，以防系統(tǒng)中可能的雜質(zhì)積聚在閥腔中，使得損壞閥門。